半导体器件的寿命的动态估算的制作方法技术资料下载

技术编号:6373419

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本发明的实施例涉及半导体器件,更具体而言,涉及确定这种器件的预期寿命。背景技术半导体器件的寿命(S卩,其无故障工作时间)的测量涉及当前和未来的工艺,因为晶体管和其他结构将变得更小,退化得更快。现有的预测这种器件的寿命的方法是静态方 法,其在温度、电压和频率方面针对整个器件寿命假设固定条件。然而,其动态特性可能与所假设的固定条件相差悬殊。此外,集成电路(IC)内的每一资源都在不同的条件下工作,因而对于不同的资源将产生不同的寿命。器件寿命一代一代缩短。此外,寿...
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