技术编号:6374581
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检查系统、检查信息汇总装置以及检查信息汇总程序。背景技术专利文献I中记载了如下所述的管理系统该管理系统对基板的处理装置进行管理,该管理系统的特征在于,在设有上述处理装置的工厂侧设置对由上述处理装置处理的基板进行检查的检查装置,在上述处理装置的供应商侧设有经由网络获得由上述检查装置检查的基板的检查信息的主计算机。专利文献2中记载了如下所述的设备管理系统该设备管理系统具备主计算机;多个设备,它们由该主计算机控制,分别进行规定处理;以及检查单元,其对通...
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