技术编号：6376236
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种重新构建物体表面的方法，其中物体由2维测量网格表示。对于每个网格点，测量包括关于在第一方向上的该表面的第一斜率和在不同的第二方向上的该表面的第二斜率的相应信息。本发明还涉及用于执行这种方法的软件，以及用于重新构建物体表面的系统。例如硅片等物体的表面，能够从测量的斜率重新构建。一般通过沿多条线扫描表面并测量斜率来测量这些斜率。测量结果产生2维网格，其中对于每个网格点给出在“水平”方向上的斜率和在“垂直”方向上的斜率。这种测量方法可以使用偏斜测量...
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