技术编号：6391685
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路和其用于制造半导体器件的处理。更具体地，本发明提供了用于处理集成电路制造的稳定性的方法和系统。本发明已经被应用于集成电路制造的特定的性质特性，这仅仅是为了示例。但是，应该认识到本发明具有更加广泛的可应用性。背景技术 集成电路或“IC”已经从制造在单个硅芯片上的少数的互连器件发展到数百万个器件。当前的IC所提供的性能和复杂度已远远超过了当初的想象。为了实现复杂度和电路密度(即，能够被安装到给定芯片面积上的器件的数量)的提高，对于每一代IC，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。