技术编号：6397831
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于显微镜的虚拟力反馈遥纳操作平台及方法，属于遥纳操作。背景技术近几十年来，随着微/纳米技术的快速发展和对微系统产品的结构微型化、功能集成化的不断需求，高效、灵敏、适应性强的纳米操作系统具有广阔的应用前景。但传统的操作方式由于受到纳米尺度的尺寸效应等因素的影响使得传统操作方式难以适应纳米尺度构件操作技术的发展需求，具有虚拟现实功能的遥纳操作逐渐走上舞台。目前国内外对纳米操作的研究，基于原子力显微镜(AFM)的操作系统最为成熟，但是由于缺乏操作...
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