技术编号:6402018
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于欠驱动技术的MEMS角速度陀螺的设计方法,具体说是提出了一种三自由度梳状静电驱动MEMS角速度陀螺的设计方案。背景技术传统的单轴MEMS角速度陀螺采用单一谐振子进行设计,驱动运动与敏感运动存在模态耦合,并工作于共振模式,使传感器对温度、气压、阻尼等环境变化十分敏感,传感器的工作性能不能满足航空航天领域导航水平的需要。同时MEMS角速度陀螺通常采用梳状静电微机械致动器进行振动驱动,为提高传感器的灵敏度,需要较大的输入振动振幅。静电力是驱动电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。