技术编号：64085
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及对在半导体晶片上形成的结构的计量(metrology)，尤其涉及使用机器学习系统的对在半导体晶片上形成的结构的计量。 背景技术光学计量包括将入射束引向结构；测量得到的衍射束；分析衍射束以确定结构的特征。在半导体制造中，光学计量一般用于质量保证。例如，在制造接近半导体晶片上的半导体芯片的周期性格栅(periodic grating)之后，光学计量系统用于确定周期性格栅的剖面(profile)。通过确定周期性格栅的剖面，可以评价用于形成周期性格栅的制造方法的质量，并且，通过延伸，可以评价接近周期性格...
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