技术编号：6413541
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种大规模半导体集成器件生产环境中微尘粒检测设备的主要部件，特别是一种微型激光微尘粒计数器光学传感器。目前，已有的激光微尘粒计数器光学传感器，如美国TS1公司的LPC-3755型激光微尘粒计数器，德国Palas公司的HC-15型白炽光微尘粒计数器以及中国南京理工大学贺安之等人发明的便携式激光尘埃粒子计数器光学传感器(专利号95239831.1)等，它们皆采用如透镜、球面或椭球反射镜等成像光学元件来形成微尘粒光敏测试区和作为散射光的光学收集器，...
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