器件模拟方法技术资料下载

技术编号:6414390

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本发明涉及一种半导体器件的数字分析方法。在半导体器件的数字分析中广泛采用的近似方法是一种把载流子(电子和空穴)当作流体的漂移扩散模型和一种用于高能级近似的能量传输模型。在稳态的漂移扩散模型的器件模拟中,可以建立如下电荷守恒方程、电子流连续方程、和空穴流连续方程作为基本方程。divd=p(电荷守恒方程)(1)D=εE(2)E=-gradφ(3)pq(p-n+ND-NA) (4)D电极化强度p电荷密度E电场强度ε介电常数q基本电荷P空穴密度n电子密度No施主密...
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