技术编号:6416126
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种半导体的制造系统,特别是涉及一种整体保养的排程系统的预测保养日期的方法以及仪器。背景技术 在半导体生产行业中使用的设备是极其昂贵和复杂的。工程师们为了确保生产设备的稳定性和可靠性,必须依循标准操作程序(SOPs)进行预防保养(PM)。由于设备的数量和种类很多,所以利用人工管理设备保养的效率很低。而且,人工管理容易发生人为疏失,而发生设备应保养而未保养的情况,导致设备的损坏、影向生产进度,进而降低了企业的竞争力。为了对所有的设备执行各种定期或不...
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请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。