技术编号:6422608
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种触觉传感器元件,用于将作用于传感器表面上的压力转变为电信号。本发明还涉及包括多个传感器元件的传感器阵列,可以确定在传感器阵列表面上的压力变量。触觉传感器和触觉传感器阵列可用于各种应用中,用来提供施加于给定表面积上的压力的量和区域分布的信息。可以提到以下例子在计算机设备中用于性能识别的触摸垫或绘图垫,或者用于确定和控制机器人紧固工具的紧固力的接触垫。这种广为公知的传感器是利用基于压阻、压电或电容效应的压力敏感装置,并可通过厚膜或薄膜工艺进行制造...
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