技术编号:6425002
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于如下用途的系统、方法、计算机程序产品及装置对工艺技术进行分类及分割,提供由此形成的递增的工艺技术供潜在的客户购买或获得许可证,及提供辅助服务来协助转让工艺技术。更具体而言,本发明涉及半导体工艺技术知识产权(IP)的转让。本申请案以于2003年9月30日在日本专利局(JPO)提出申请的日本优先权文件日本专利申请案2003-340591为依据,该申请案之全部内容以引用方式并入本文中。背景技术 一般而言,随着产品自身变得越来越精密,诸如半导体制造技...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。