技术编号：6443490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在半导体器件的订货系统中选择作为半导体器件用晶片的原版而被使用的光掩模的接受订货商的方法，特别是涉及可使光掩模的单价降低的选择方法。背景技术 迄今，由IC芯片制造商(晶片制造商)生产备有根据客户所要求的规格而变更布线图形的电路的IC(集成电路)芯片。这样的IC芯片是在作为IC芯片的制造工序之一的光刻工序中，将在合成石英衬底上用金属薄膜形成了遮光图形的光掩模作为原版而制造的。由掩模制造商制造该光掩模。与规格有关的信息被存储在磁带等中，从作为订货商的...
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