技术编号：6444744
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路版图绘制领域，尤其涉及一种。背景技术电感在各种电子电路中的使用相当普遍，一直以来都以分立式结构存在，这种分立电感一般都以螺线管的结构制作，拥有较大的封装体积和占据着电路板上较大的面积。 而随着集成电路技术和通信技术的发展，占据更小面积的集成平面螺旋电感器件迅速的在有着低功耗低成本轻薄便携诉求的消费类电子产品中得到广泛应用。目前主流的集成电感通常使用后道金属层互连工艺与集成电路一起制作在硅 (Si)衬底或者砷化镓(GaAs)等衬底上，形成芯...
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