技术编号：64542
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种适用于月球表面环境的原子力显微镜就位测量方法及装置。该就位测量检测装置能够实现对尺寸从微米直至纳米量级的月壤、月岩、砂石等颗粒样品进行微观形貌、大小、硬度、附着力、磨损等方面的研究分析。 背景技术20世纪80年代问世的原子力显微镜(AFM)，具有可以观察不导电样品，可在大气、真空及液体环境条件下进行成像观察的优点，体积小、重量轻、能耗低的特点。在高分子材料、纳米材料及表面科学(如半导体材料、催化剂等)以及原子、分子操控等领域得到了广泛应用。原子力显微镜不仅可给出样品表面微观形貌的直观的三维结...
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