技术编号:6456022
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。定向数据采集架构背景技术由于生产商试图在半导体行业中保持竟争力,等离子处理 也随之发展。为了获得竟争能力,生产商必须能够有效并高效地解 决可能发生的问题。解决问题通常包括分析处理中采集的数据。 在等离子处理中,通过多个传感器连续采集数据。此处讨 论的传感器指可用于检测等离子处理元件情况和/或信号的装置。为 便于讨论,术语"元件"将用于指代等离子处理系统中的原子或多部 件装配体。因此,元件可简单如气体管道,也可复杂如完整处理才莫块。 在近几年来,被传感器采集...
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