技术编号：6473730
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种对表面和薄膜样品，尤其是对纳米薄膜进行快速表征的椭偏成像测量装置，特别涉及一种采用旋转补偿器和时间积分采样，对具有复杂横向结构的纳米薄膜材料表面的各点同时进行快速测量的椭偏成像装置。 背景技术椭偏(椭圆偏振光)成像技术是近年来发展的一种新型的大面积纳米薄膜表征方法，可用于人工生物膜、新型传感器、半导体集成电路、光量子器件、生物芯片、高密度存储等纳米薄膜实用化材料和表面器件的测量。该技术是在传统单点椭偏测量技术的基础上，结合了显微成像技术和...
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