技术编号:6477228
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示多套作为与半导体过程的处理时状态有关的时间 序列数据的过程相关数据的数据显示装置等。背景技术作为包括进行针对被处理基板的规定过程的多个制造装置和与该 多个制造装置连接的服务器装置的群管理系统中的测量数据加工方法, 以前已知自动并且正确地加工从测量器发送来的数据的方法(例如,参 照专利文献1 )。该测量数据加工方法,预先登记加工测量数据的计算式, 在接收到测量数据时,将该测量数据保存到测量数据接收緩冲中,并且基于测量数据具有的配方(recipe...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。