技术编号:6481470
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及微机电系统(MEMS)系统级设计中的一种变截面梁建模方法,属于微机电系统设计领域。 背景技术 在MEMS结构中,为了实现梁的某些设计目标,如应力集中小、体积小、强度高、重量轻、稳定性佳等,并且考虑梁所受弯矩的大小沿轴线变化时,常采用宽度随长度线性变化的变截面梁代替常规的等截面梁来优化结构。如在微加速度计、微机械陀螺等惯性器件中,绝大多数悬臂梁所承受的弯矩都是沿其轴向变化的,因此必须保证悬臂梁结构自由端具有较小的刚度来产生较大的形变,以使敏感...
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