技术编号:6481480
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMS)系统级设计中的一种等腰梯形截面梁建模方法, 属于微机电系统设计领域。背景技术针对MEMS结构和器件的整体行为(即系统级行为)的快速建模与仿真要求,西 北工业大学的霍鹏飞在其论文"基于组件网络方法的微加速度计建模与仿真"中,提出了基 于多端口组件网络MuPEN (mu 11i-port_e 1 ement network)的MEMS系统级建模方法,并建立 了参数化系统级组件库。该方法把整个MEMS器件分解为多个功能结构部件,针...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。