用于扫描探测器显微镜的自找正的扫描探测器的制作方法技术资料下载

技术编号:64931

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技术领域本发明涉及替代地用于扫描探测器显微镜(Rastersondenmikr oskop)中的扫描探测器,它具有微悬臂梁,在该微悬臂梁的一端上 设置有用于扫描试样的扫描尖端,并在其另一端上设置有固定部件, 该固定部件用于在固定于探测器夹持装置上的支承部件上,对扫描探 测器进行可拆卸地固定,其中在固定部件和支承部件上各自构造有相 应的找正机构,它们在同支承部件相耦合时使固定部件自动可重复地 相对探测器夹持装置进行找正(ausrichten )。背景技术扫描探测器显微镜是众所周知的。它用于扫描试样的表面,直至 原子解...
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