技术编号：64943
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明属于精密机械领域，特别涉及显微环境下薄膜加载及薄膜变形检 测方法。背景技术目前薄膜材料的检测技术主要有压痕法(indentation)、薄膜弯曲法 (film curving or film bending )、鼓膜法(bulge test)、 微结构法 (microstructure testing)、单轴^立伸法(uniaxial tensile testing) 等。其中单轴拉伸法是测量薄膜弹性模量、泊松比、屈服强度和断裂强 度等力学特性的最直接方法。目前，在基于光学显微镜、电子束扫描显 微镜及...
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