技术编号:65013
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及诸如MEMS (微机电系统)电容器传声器之类的静电电容传 感器。本申请要求基于日本专利申请No.2006-345400的优先权,其内容在此 并入作为参考。背景技术作为一种公知的静电电容传感器,诸如封装在MEMS封装中的电容器 传声器之类的MEMS传感器已经在各种文献中公开,如日本专利申请公开 号2004-537182,美国专利申请公开号US2004/0046245A1和美国专利申请 公开号US2005/0018864A1。每个用作电容器传声器的静电电容传感器都具 有高阻抗的相对电极。由于这个原因,...
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