用于为多层图案的视觉系统检查生成合成黄金模板图像的系统和方法技术资料下载

技术编号:6503060

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本发明提供一种系统和方法,其用于在视觉系统中产生黄金模板图像以便检查具有多层印刷图案的已获取的运行时刻图像。所述系统和方法通过使用每个都在相应的标准层掩模图像上被训练的配准模型在运行时刻图像上执行训练处理并输出姿势。基于所述姿势,产生翘曲的层掩模。基于所述翘曲的层掩模的不同组合计算组合掩模。为所述组合掩模估算所述前景区域的像素的强度值。然后将所述估算强度值与所述组合掩模混合以产生黄金模板图像。该黄金模板图像可被用于与运行时刻图像相比较。该系统和方法的示例性...
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