技术编号：6505755
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。提出了一种。为了适当对准，对准标记被加入至多层基底的每一层中。光学对准标记被应用至每个基底层的表面上。对准标记组被布置在每个基底层的局部区域中。对准标记的每个局部组被称为对准目标区域。所述第一基底层上的第一对准目标区域之内的所述对准标记与所述第二基底层上的第二对准目标区域之内的相应的所述对准标记相对准。在一些实施例中，所述第一对准目标区域包括被配置用于手工对准的对准标记和被配置用于机器对准的另一对准标记。所述第二对准目标区域具有相对应的手工对准标记和机器对...
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