技术编号:6506037
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种面向元胞自动机的刻蚀表面演化模型的压缩方法,属于微电子加工中刻蚀过程模拟领域;该方法采用游程编码对表面演化模型进行压缩表示,首先对各部分的材料元胞进行属性定义,分别定义了单个元胞材料编码和整体材料编码;然后根据模型特征选择以模型的垂直列为压缩单元,根据游程编码制定相应的压缩规则;分别对模型的每个垂直列自上而下进行压缩,从而实现模型的压缩表示。本发明既大幅度地减少了模型表示所需的内存空间,又保证了仿真过程的计算效率。专利说明[0001]本发明属...
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