一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的小片定位、直接成像系统的制作方法技术资料下载

技术编号:6522481

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本发明公开了一种拼贴法制备单片集成电容触摸屏的小片定位、直接成像系统,该系统包括承载板、排版系统、视觉识别系统、填充图形设计系统、动态电子掩膜生成系统和无掩膜光刻系统,该系统在曝光刻写前对各个小片玻璃的图形填充位置进行修正,生成动态电子掩膜,以保证光刻位置的准确性,各工序只要读取承载板的身份识别码就可以调取对应的小片玻璃位置信息,有效解决了多层膜图形制作过程中小片坐标被膜层覆盖无法识别的问题,同时也节省了曝光中重复识别小片玻璃定位标记的时间,显著提高了生产...
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