技术编号:6523989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种总线互连结构将主机系统与耦接至等离子体室的射频(RF)发生器对接。总线互连结构包含第一组主机端口,其被用于将功率分量设定和频率分量设定提供给RF发生器。第一组主机端口的端口被用于接收随着时间改变的不同的变量。总线互连结构还包含第二组发生器端口,其被用于将功率读回值和频率读回值发送给主机系统。总线互连结构包含与主机系统集成的采样器电路。采样器电路被配置为在第一组端口,在选择的时钟沿对信号采样,以捕捉等离子体室和RF发生器的操作状态数据。专利说明提高等离子...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
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