技术编号:6533212
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及使用非旧有控制器执行旧有半导体应用程序的系统及方法。在一些实施例中,硬件抽象层及/或模仿器可用于提供非旧有操作系统与包括旧有应用程序的旧有部件之间的通信。在一些实施例中,多种方法及/或装置可用于模仿及/或翻译旧有部件与非旧有部件之间的通信。专利说明用于旧有硬件与软件的增强型重新主机代管能力[0001] 发明背景[0002] 本发明大体上涉及基板处理,且更具体地说,本发明涉及用于半导体处理工具的 控制系统。[0003] 半导体装置(诸如集成...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。