技术编号：6544552
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了，涉及半导体制造领域。该方法为根据每个芯片生产过程中的状态，将所述芯片生产的总时间根据生产芯片的设备状态划分为多个单元；将所述设备状态采用优先权的方式进行划分，每个所述单元与一个优先权代码相对应，所述优先权代码由两位数字组成，第一位表示时间分类，第二位表示设备状态；计算机将设备状态按照所述优先权的顺序生成全局设备效率报表。本发明通过细化和量化设备状态，生成细化精准的设备OEE报表,以便生产管理者能够精准掌握生产设备状态，合理安排生产计划或实时调...
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