技术编号：6548779
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种晶圆表面缺陷特征分析方法，所述方法包括采集多个晶圆图像；从所述晶圆图像中提取晶圆的感兴趣区域；获取所述感兴趣区域内的所有可疑缺陷；从所述可疑缺陷中选取预设数量的训练样本；提取所述训练样本的特征数据；利用随机森林法对所述特征数据进行特征分析，得到由多个分类模型组成的随机森林。采用该方法，能够减少晶圆表面缺陷错分率，提高分类准确性。此外还提供一种晶圆表面缺陷特征分析系统、分类方法和系统。专利说明晶圆表面缺陷特征分析方法、系统、分类方法和系统[0001]本发...
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