技术编号:6551628
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于半导体生产技术,特别是有关于一种半导体生产自动化的系统与方法。背景技术 半导体集成电路(IC)产业经历了快速的成长。IC在材质与设计上的进步,造成各时代的IC电路一代较一代更微小且更复杂。然而,这些进步也增加了IC在生产与制程上的复杂度,而为了实现这些进步,IC的生产与制程技术亦须发展到相同程度。例如,我们必须运用生产制程在基板(substrate)上创造出一至多个元件(即电路零件)以生成IC。当这些元件的几何形状缩小至次微米或深次微米(de...
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