技术编号：6553267
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于高速精确激光微调的方法和系统、在其中使用的 扫描透镜系统以及由此制造的电气装置。背景技术传统地，使用波长为l微米的Nd YAG激光器来修整芯片电阻器。 当电阻器的尺寸变小时，基板变薄，公差变小，该波长在修整切口 宽度、热影响区(即HAZ)方面会受到基本限制，并因此限制TCR的漂移和电阻R。众所周知的是，较短的波长能够提供较小的光点尺寸。还周知的 是在较短的波长处对薄膜材料的吸收作用更高。因此，使用具有比 传统的l微米更短的波长的激光的优点是切...
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