技术编号:6553660
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体晶片处理。更具体地说,本发明涉及使用运 行到运行(run-to-run)控制器执行故障检测与分类(FDC)。发明背景在高性能集成电路的生产中由半导体生产设施(fabs)使用的半 导体处理设备(SPE)或工具领域中先进处理控制(Advanced process control, APC)的新发展,包括出于故障检测与分类(FDC)的目的,补 充了在工具级(TL)的监控硬件和软件。FDC提供了建立工具操作基准 (baseline)的能力,以及通过...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。