技术编号：6562508
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用了拍摄被检查物而得到的图像的差分比较检查方法及装置，特别是涉及一种形成在基板上的图案的比较检查方法及装置。背景技术 在装有电子部件等的印刷电路板的表面上，图案形成了构成规定的电路所需要的导体配线。比较检查法是该配线图案的检查方法之一。该方法是对由CAD数据做成的合格品图像与拍摄作为检查对象的基板而得到的检查图像进行比较，将具有一定以上的差的部分作为缺陷而检测出来的一种方法。具体地说，比较检查法是基于将CAD数据变换为数字图像的图像、即基准...
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