技术编号：6567987
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于半导体制造的过程I/O控制器，工具主机(tool host)可 以对其代理(delegate)数据收集、监视和控制任务。特别地，它涉及可以能 够以具有统计可重复的性能和精度执行数据收集、监视、控制和响应于来自 工具主机的命令中的两种或更多。所描述的实施例利用被优先排序的实时操 作系统来控制半导体制造工具和从与传感器相关联的工具的数据收集。在所 选择的配方(recipe)步骤期间对所选择命令和传感器输入的统计可重复的响 应性有效地降低了抖动(j...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。