技术编号:6568762
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。使用单个自混合激光器测量对象和光学输入设备 的二维相对运动的方法本发明涉及一种确定输入设备和对象沿作用平面内的测量轴相对于彼此的运动和/或距离的方法,该方法包括步骤使用从激光设 备的激光腔发射的测量激光束照射对象表面;测量激光腔操作中的变 化,所述变化归因于重新进入所述激光腔的测量束辐射和所述激光腔 中的光波的激光自混合干涉,并且代表了沿所述测量轴的所述运动; 生成代表所测得的、在所述激光腔操作中的变化的电信号。本发明还涉及一种配备了用于执行该方法的光学模...
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