技术编号:6571495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机电系统(MEMS)器件的模型建立方法,属于微机电系统的计算机辅助设计(MEMS CAD)领域。背景技术 随着集成度的提高,MEMS系统级设计的需求会越来越迫切。系统级设计关注对整个微系统(包含机械结构、电路以及多域耦合部件等)从整体上进行建模与性能仿真。由于相关工作存在一定难度和复杂程度,因此如何建立既能够较准确表达器件行为又可以实现可重用参数化组件模型成为关键问题,对于发展MEMS CAD技术、提高MEMS设计效率和研发水平至关重要。现...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。