一种螺旋形电感的设计方法技术资料下载

技术编号:6599204

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本发明涉及一种半导体器件的版图设计,特别是涉及。背景技术随着集成电路的发展,晶片的尺寸相对的按比例缩小,然而,在实际的电感的版图设计中,电感的面积十分庞大,不能按比例缩小。此外,由于平面电感的不同线圈之间的耦合系数低,导致电感的性能随着电感圈数的增加而变得较差。但是为了实现较大电感值的同时节省芯片面积,本领域技术人员不得不采用多圈电感的结构,进而设计出将电感绕成螺旋形线圈的结构。由于集成电路的进一步发展,芯片内的螺旋形电感的互连结构从0.35 微米时的4层...
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