技术编号：66057
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明涉及一种压电陶瓷扫描管驱动器，属于原子力显微镜(AFM)技术领域。背景技术原子力显微镜问世以来，提供了一种能在纳米尺度、分子乃至原子水平上观察物质形貌的工具，其利用在一个柔性悬臂梁上的很细的探针接近被测表面，在被测表面做横向扫描时，样品表面高低起伏的变化改变了样品表面和探针的间距，从而改变了两者间的相互作用力——原子力，通过纵向移动针尖或样品，保持恒定的原子力来测量表面形貌，分辨率可达纳米量级。目前，原子力显微镜已发展成为一种成熟的实验用表面分析仪器，广泛用于材料表面微观形貌分析，生命科学等领域。现有...
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