技术编号:6609964
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微光刻图形数据格式转换,尤其涉及一种将CIF 格式圆形切割成PG3600格式矩形的方法。背景技术由于不同的曝光设备一般都是使用自己专用的图形数据格式,所以必 须进行数据格式转换处理。目前保留下来比较多的光学曝光系统仍然是 GCA3600F图形发生器(GCA3600F Pattern Generator)和GCA3696分步 重复精縮机(GCA 3696 Photo-Repeater),其使用的PG3600图形数据格式 (PG3600 format...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
请注意,此类技术没有源代码,用于学习研究技术思路。