技术编号：6614727
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及 一 种集成电路制造流程，尤其是与可制造性设计(design for manufacturing, DFM )系纟克有关，更净争别的是与集成电 ^各设计与制造的良率评估有关。背景技术可制造性设计是一种在产品设计流程中强调制造i果题的开发 方式。成功的DFM结果可以乂人早期i殳计阶,殳就可降4氐制造成本而 不会牺4生产品品质。现在有越来越多的DFM意识设计。在设计阶段，中介设计一 般都会离线以执行DFM检查来确保设计符合DFM,并且在找到问 题时修...
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