使用带电粒子束的半自动粒子分析的方法和数据分析系统的制作方法技术资料下载

技术编号:6623136

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公开了用于根据由带电粒子显微镜生成的对象的微观数据来生成分析数据的数据分析系统。微观数据包括示出结构的图像。通过图形用户界面在显示器上显示结构的图形表示。生成代表分离切割的至少一条路径的分离数据,分离切割将结构的像素相互分离。根据分离数据,通过不同地标记表示的不同区域部分来通过图形用户界面可视化地标记分离切割,表示的不同区域部分代表通过分离切割相互分离的结构的不同的像素。根据微观数据并且根据分离数据,生成针对对象的至少两个部分中的每个部分的分离分析数据。专...
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