技术编号：6647218
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于振动检测和振动分析的方法和设备，以及具有这种设备的光刻设备，并且涉及包括这种方法的装置制作方法和包括这种方法的计算机程序产品。背景技术 光刻设备是这样的机器，用于将需要的图形施加在衬底的目标部分上。光刻设备可以用在例如集成电路(IC)的制作中。在这种情况下，可以使用构图装置(例如掩模)以在对应于IC的单个层上产生电路图形，并且该图形可以被成像到衬底(例如硅晶片)的目标部分上(例如包括部分、一个或者多个芯片)，所述衬底具有辐射敏感材料层(抗蚀剂...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
请注意，此类技术没有源代码，用于学习研究技术思路。