技术编号：6654851
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体存储器生产系统及其半导体存储器生产方法，可推断在半导体存储单元的晶片加工过程中造成了缺陷的步骤。近年来，为了改进半导体存储器的存储容量，人们付出了巨大的努力来使芯片上形成的存储单元体积最小化。如果用于制造这些小型化的半导体存储器所需要的多个处理步骤(晶片处理)不能很快地开发并使这些处理步骤稳定，就难以按需提供这种半导体存储器。因此，对于用于制造这些半导体存储器所需要的各处理步骤的开发和稳定来说，必须进行半导体存储器的故障分析，并利用这种故障...
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