技术编号:6657096
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统发明背景1. 发明领域本发明一般地涉及用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统。一些实施方案 涉及这样的计算机实现方法,即,所述方法包括允许用户向缺陷组指派分类,其中,基于 在样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种性质,所述各个缺陷被指派到所述缺陷组。2. 相关技术描述下面的描述和实施例不因为被包括在本部分中而被认为是现有技术。晶片检査系统经常在每个芯片上发现数千个异常(普遍被称为"事件"或"缺陷")。 缺陷可...
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