技术编号：66644
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域所公开的发明主题涉及用于测试集成电路性能的探针卡，并且更具体地，涉及包括纳米管探针的探针卡和制造包括纳米管探针的探针卡的方法。2、相关技术的描沭在计算机芯片制造产业中，为了除去缺陷元件并且为了监控制造工艺，在制造工艺中必须在不同点测试集成电路(IC)的性能。为此，已采用各种技术，然而由于对IC制造工艺要求的不断提高，所有这些技术都面临挑战。为了对电路进行电测试，必须接触IC上的焊盘(pad)，即“探测” IC。这些探针必须能够与待测的IC焊盘非常精确地对齐，并且能够提供足够的电流为IC供电以及能够以低电感提...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。