技术编号:6674257
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供了一种。该材料管理系统用于把存储在液体存储容器中的液体提供给衬底,包括围墙,用于容纳多个处理液体存储容器,所述多个处理液体存储容器的每一个都具有一个或多个用于在其上存储有关所述容器中的所述液体的信息的信息存储元件;以及监测、控制、通信装置,所述监测、控制、通信装置包括读取器,适于从液体存储容器上的所述信息存储元件读出有关所述液体存储容器的所容之物的信息;信息存储器,适于存储有关从所述围墙内的容器所需的液体的信息;以及处理器,被配置为处理从所述信息存储元...
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