技术编号:6677244
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种低飞移高度面内磁性图像识别传感器芯片,该传感器芯片包括表面开有深坑的Si衬底、磁电阻传感器、绝缘层,所述磁电阻传感器位于所述Si衬底的深坑底表面上,所述绝缘层位于所述磁电阻传感器之上,工作时磁性图像检测面与Si衬底表面共面或平行,所述磁电阻传感器的输入输出端直接与引线实现引线键合连接,或者通过焊盘,还可以通过导电柱和焊盘与引线实现引线键合连接,且所述引线飞移高度低于所述Si衬底表面的高度。本实用新型具有结构紧凑、不需封装、可以直接和磁性...
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