技术编号：6686379
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开内容涉及在半导体处理中调度批次(lot)。更具体地，本公开内容涉及为了操作员的检查而显示半导体处理工具的调度逻辑。背景技术在半导体制造中，每个半导体都是作为半导体批次或组(下文 称为"批次")的一部分形成的。半导体批次由多个不同的处理工 具来处理。将半导体批次安排或调度到处理工具是一个动态过程。例如，在制造过程、原材料、处理工具和其他变量方面的条件可能改变， 这导致了需要将半导体批次动态调度到处理工具。每个处理工具根据一个或多个过程规则对半导体批次执...
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